XRV 交叉滾柱音圈模組系列系列,包含音圈電機動定子、十字交叉滾柱導軌、光柵尺反饋系統及載臺,
即裝即用,占用空間小適用于高剛性、高精度、高平面度及直線度的場合
性能特點:
模塊化設計, 應用了直線音圈電機
雙重精密線型交叉滾柱導軌
行程可達20mm
模塊的設計配備編碼器
編碼器的高分辨率有0.1um, 20nm或5nm
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應用領域:
半導體、光學電子、食品制藥、組裝包裝
汽車生產檢測、生物生化檢測取樣、自動化測試
高速掃描,數碼影像系統
高效的焊接、貼片、組裝、測試與檢測設備
光學元件的搬運與檢測,各種精密而高速運動設備