集成化音圈模組設計,包含音圈電機動定子、導軌、光柵尺反饋系統及載臺,即裝即用
性能特點:
系模塊化設計, 應用了圓柱形音圈電機
單重線導軌或滑軌系統
行程可從15mm到30mm
直接驅動,無背隙和無嵌齒效應
模塊的設計配備編碼器
編碼器的高分辨率有1.0um或0.1um
反應快,帶寬高